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标准设备

信号灯 周间定时器
基板堵塞传感器(入口) 基板堵塞传感器(出口)
入口节拍控制器 准备定时器
信号接点 加热器异常报警
加热器断线检出(Soft) 加热器负荷显示
普通仕样
名称 6116S 6116K
输入电源 3φ 200V 18kVA 3φ 200V 14kVA
设备重量 约500kg 约450kg
N2供给量 250L/分以上 200L/分以上
0.4Mpa 纯度99.99%以上
基板有効幅 ピンチェーン 50~160mm
メッシュ 最大200mm
搬送タイプ ピンチェーン方式 ※1
搬送速度 0.1~0.5m/分
搬送高さ 900±20mm
基板有効高さ 構造比較表参照
ヒータ枚数
循環ファン




オプション (○標準仕様 ●オプション)
名称 6116S 6116K
搬送幅自動調整 ×
ソリ防止機構 ×
カラータッチパネル ○(8.4インチ) ●(5.7インチ)
メモリーカード(100種保存)
下ヒータ2.3ゾーン追加
キャスター
メッシュ搬送 ※2
搬送コンベア延長
ファン停止検出
フラックス回収装置
100ppm対応
UPS
N2仕様
酸素濃度計
指定色




※1 ピンチェーン方式
低振動構造で両面基板搬送に最適


※2 メッシュ搬送方式
クリーン搬送や小型基板:デバイス搬送に最適





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