设备性能

6116S Profile
符合本公司Profile条件

6116K Profile
符合本公司Profile条件

6116S氧浓度 (最大基板连续传送时)
250L/分可达到200ppm

6116K氧浓度 (最大基板连续传送时)
200L/分可达到200ppm

启动电力
启动20分钟则可达到5kW以下

稳定时电力(无负荷)
大输出功率加热器也可使大幅减少耗电

外板温度(6116K)基准设定时
可实现45°C 以下

外板 温度(6116K)设定350°C时
可实现50°C以下


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