设备性能
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设备性能

6116S Profile

符合本公司Profile条件


6116K Profile

符合本公司Profile条件


6116S氧浓度 (最大基板连续传送时)

250L/分可达到200ppm


6116K氧浓度 (最大基板连续传送时)

200L/分可达到200ppm


启动电力

启动20分钟则可达到5kW以下


稳定时电力(无负荷)

大输出功率加热器也可使大幅减少耗电


外板温度(6116K)基准设定时

可实现45°C 以下


外板 温度(6116K)设定350°C时

可实现50°C以下





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